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33 susceptor±¸¾Ö¹®Àǵ帳´Ï´Ù. À¯´Ï¿ÂÅ×Å©¡¦ 08-23 53435
32    susceptor±¸¾Ö¹®Àǵ帳´Ï´Ù. ¸ÞÄ«·Î´Ð½º 09-02 19826
31 ÁÖ½Ä(ÅõÀÚ)°ü·Ã ¹®ÀÇ ÀÔ´Ï´Ù ¾È¸í¼÷ 09-28 39654
30    ÁÖ½Ä(ÅõÀÚ)°ü·Ã ¹®ÀÇ ÀÔ´Ï´Ù ¸ÞÄ«·Î´Ð½º 10-03 45920
29 ¹®Àǵ帳´Ï´Ù kist 02-11 21372
28    ¹®Àǵ帳´Ï´Ù ¸ÞÄ«·Î´Ð½º 02-18 33712
27 ALF HEATER ¿¡ ´ëÇØ Áú¹®µå¸³´Ï´Ù. ¼Û¿ø½Ä 09-19 34293
26    ALF HEATER ¿¡ ´ëÇØ Áú¹®µå¸³´Ï´Ù. (1) Mecharonic¡¦ 09-26 42934
25 Germanium¿¡ ´ëÇØ ¹®ÀÇ µå¸³´Ï´Ù. Lab. 07-30 37161
24    Germanium¿¡ ´ëÇØ ¹®ÀÇ µå¸³´Ï´Ù. Mecharonic¡¦ 08-06 39956
23    Germanium¿¡ ´ëÇØ ¹®ÀÇ µå¸³´Ï´Ù. Mecharonic¡¦ 08-09 32264
22 Precursor °ßÀû ¹®Àǵ帳´Ï´Ù. (1) ÇԱ⿭ 01-11 50830
21 ÇÁ¸®Ä¿¼­ °ü·Ã ¹®Àǵ帳´Ï´Ù. (1) ÀÓµ¿È¯ 04-04 32219
20 ALTUS PEDESTAL ¹®ÀÇ »çÇ×ÀÔ´Ï´Ù. (1) ¼Û¿ø½Ä 04-18 42350
19 ¹Ì¼¼È¦ °¡°ø ¹®Àǵ帳´Ï´Ù. (1) ±è¿Õ±Õ 06-04 66223
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