º¸À¯±â¼ú¸í |
»çÁø |
»ó¼¼ ±â¼ú ¿ä¾à |
À¯±â/À¯±â ±Ý¼ÓÈÇÕ¹°
°í¼øµµ Á¤Á¦±â¼ú |
|
°íÁø°ø Áõ·ù¹ý/½ÂȹýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À¯±â ¹× À¯±â±Ý¼ÓÈÇÕ¹°ÀÇ °í¼øµµÈ Á¤Á¦±â¼úÀº ALD/CVD °øÁ¤¿ë precursor¿Í OLED µîÀÇ ÀüÀÚÀç·á Á¦Á¶¿¡ ÀÖ¾î¼ Çٽɱâ¼úÀ̸ç, Á¤¹ÐÈÇÐ/ÀǾàÈÇÐ/Ã˸ÅÈÇÐ µî¿¡¼ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. |
À¯±â±Ý¼Ó ÈÇÕ¹°
ÇÕ¼º±â¼ú |
|
¼öºÐ°ú »ê¼Ò¿¡ ¸Å¿ì ¹Î°¨ÇÑ À¯±â±Ý¼ÓÈÇÕ¹°ÀÇ Á¦Á¶¸¦ À§Çؼ´Â Ư¼ö ¼³°èµÈ ÇÕ¼º ¹ÝÀÀ±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °ø±â¸¦ ¿Ïº®È÷ Â÷´ÜÇÏ´Â °ÍÀÌ Çٽɱâ¼úÀ̸ç, À̸¦ ÀÀ¿ëÇÏ¿© ÀÚ¿¬¹ßȼº, ±Ý¼ö¼º, Æø¹ß¼º ÈÇÕ¹°À» ¿ø·á·Î »ç¿ëÇÏ´Â ÈÇÐ Á¦Á¶°øÁ¤À̳ª °íÀ§Ç輺 ÈÇÕ¹°À» ÁÖ¹®ÀÚ »ç¾çÀ¸·Î ÇÕ¼ºÇÏ¿© °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. |
ALD/CVD precursor
¼³°è±â¼ú |
|
ALD/CVD °øÁ¤Àº ³ª³ë ½ºÄÉÀÏÀÇ °íÇ°Áú ±Ý¼Ó, ¼¼¶ó¹Í ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇϱâ À§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¹æ¹ýÀ̸ç, °øÁ¤ ¹× Àåºñ¿¡ ºÎÇյǴ precursorÀÇ ¼³°è´Â °øÁ¤ÀÇ ¼ºÆи¦ Á¿ìÇÏ´Â ±â¹Ý±â¼úÀÌ´Ù. Precursor ¼³°è ±â¼ú¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ °ÍÀº ÁõÂøÇÏ°íÀÚÇÏ´Â ³ª³ë ½ºÄÉÀÏ ¹Ú¸·ÀÇ ¹°¼ºÀÌ ÀûÇÕÇϵµ·Ï °øÁ¤ ¸ÞÄ«´ÏÁòÀ» ÈÇÐÀûÀ¸·Î ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÇÏ¿© ½ÇÁ¦ °øÁ¤ Àåºñ¿¡¼ Àû¿ëÀÌ ¿øÈ°Çϵµ·Ï ¼³°èÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. |
ALD/CVD °øÁ¤ ¹× Àåºñ
¼³°è±â¼ú |
|
°íÇ°Áú ³ª³ë ½ºÄÉÀÏÀÇ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¹°ÁúÀ» ¼º¸·ÇϱâÀ§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¹æ¹ýÀÎ ALD/CVD °øÁ¤Àº »ç¿ëµÇ´Â ¿ø·á precursorÀÇ ¿ªÇÒÀÌ ¸Å¿ì Å©±â¶§¹®¿¡ ÈÇÐÀûÀÎ ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ«´ÏÁòÀ» ¼º°øÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â precursor¿Í reactantÀÇ ¼³°è ¹× °øÁ¤ ·¹½ÃÇÇ, Àåºñ ÄÁ¼ÁÀÇ ¼³Á¤ÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù. ALD/CVD °øÁ¤ ±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇÑ ´Ù¾çÇÑ °íÇ°ÁúÀÇ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀç´Â ¹ÝµµÃ¼, LCD, ¼Ö¶ó¼¿, LED µîÀÇ ÀüÀÚ»ê¾÷°ú ³ª³ë ¼ÒÀç»ê¾÷ µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. |
ÆÄÆ®¼³°è±â¼ú |
|
2D, 3D ¼³°è ÇÁ·Î±×·¥°ú ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ÇÁ·Î±×·¥À» ÀÌ¿ëÇÑ ±â´É¼º ºÎÇ° ¹× ÀåºñÀÇ ¼³°è ±â¼úÀº È÷ÅÍºí·°/Shower head µîÀÇ Àåºñ ºÎÇ°À» ºñ·ÔÇÏ¿©, Chemical ÈÇÕ¹°ÀÇ º¸°ü¿ë±âÀΠij´Ï½ºÅÍ ¹× °¡¿ ±âÈ ÀåÄ¡ÀÎ heating ¸ðµâ°ú ¿ø·áÀÇ Áß¾Ó°ø±ÞÀåÄ¡ ±¸Çö¿¡µµ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù. |
±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ÄÚÆñâ¼ú |
|
ALD/CVD °øÁ¤ ¹× Àåºñ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ »ç¿ë °¡´ÉÇÑ °íÇ°ÁúÀÇ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ÄÚÆÃÀ» ´ë¸éÀû¿¡ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, °í°´ÀÇ ¿äû¿¡ µû¶ó¼ ´Ù¾çÇÑ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ ÄÚÆà ¹× ÄÚÆà ±â¼úÀÇ °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. |
Á¤¹ÐÈÇÐ ºÐ¼®±â¼ú |
|
ICP-MS¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÈÇÕ¹°ÀÇ ppt ¼öÁØÀÇ ±Ø¹Ì·® ±Ý¼Ó ºÒ¼ø¹° ºÐ¼®°ú NMR, GC, HPLC µîÀÇ À¯±â¹° ºÐ¼®, TGA/DSC ºÐ¼®Àº ALD/CVD precursor ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ¹ÝµµÃ¼¿ë ÀüÀÚÀç·áÀÇ °³¹ß¿¡ ÀÖ¾î¼ ±âº»ÀûÀÎ ºÐ¼® ±â¼ú·Î¼ ÈÇÕ¹°ÀÇ ÀÀ¿ë ¸ñÀû¿¡ ¸Â´Â ¼øµµ¿Í ¹°¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÏ´Â ¿ëµµ·Î »ç¿ëµÇ¸ç, ÀϹÝÀûÀÎ ÈÇÕ¹°À̳ª À¯¹«±â ¼ÒÀç, Ư¼ö°¡½º¿Í °°Àº ¹°ÁúÀÇ ºÐ¼®¿¡µµ ÀÀ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. |
·¹º§ÃøÁ¤±â¼ú |
|
ÀüÀÚ»ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö ¾àÇ°·ùÀÇ ½Å·Ú¼ºÀÖ´Â ¼öÀ§Á¶ÀýÀ» À§ÇÏ¿© °³¹ßµÈ ÃÊÀ½ÆÄ ·¹º§¼¾¼ ½Ã½ºÅÛÀº 0.1% ÀÌÇÏÀÇ ½Å·Úµµ¸¦ È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, °í¿Â, °í¾Ð, Áø°ø, À¯Ã¼ÀÇ À¯µ¿°ú °°Àº °¡È¤ÇÑ Á¶°Ç¿¡¼µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÌ È®º¸µÇ¾î ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ È®´ë Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. |
¿À¿°Á¦¾î±â¼ú |
|
¹ÝµµÃ¼ µîÀÇ ÀüÀÚ »ê¾÷¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ºÎÇ° ¹× ¼ÒÀç´Â ÀÀ¿ë ¸ñÀû¿¡ µû¶ó¼ ÃÊ°íµµÈµÈ ¼øµµ¸¦ ÇÊ¿ä·ÎÇϱ⶧¹®¿¡ ÇÕ¼º ¹× °í¼øµµÈ °øÁ¤¿¡¼ ¼¼Á¤ ±â¼ú°ú ûÁ¤È ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ¸ç ´ëºÎºÐÀÇ °æ¿ì ppt ¼öÁØÀÇ ±Ý¼Ó ºÒ¼ø¹° ¹× 0.05umÀÌ»óÀÇ À̹° Á¦¾î ±â¼úÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. ¿À¿°Á¦¾î±â¼úÀº ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ»ê¾÷ ¹× ¹ÙÀÌ¿À »ê¾÷ÀÇ ±Ù°£ÀÌ µÇ´Â ±â¹Ý±â¼ú·Î ÀÀ¿ëÀÌ °¡´ÉÇϸç, °íµµÀÇ Ã»Á¤µµ°¡ ¿ä±¸µÇ´Â ºÎÇ°À̳ª ÈÇÕ¹° ¿ë±â(ij´Ï½ºÅÍ) ¹× º§ºê µîÀÇ ¿À¿°Á¦°Å¸¦ À§ÇÑ ¼¼Á¤ ¼ºñ½º°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. |
¹Ú¸·ºÐ¼®±â¼ú |
|
ºÐ¼®±â±â SEM/EDX¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °íÇ°ÁúÀÇ ³ª³ë ½ºÄÉÀÏ ¹Ú¸·ÀÇ ¹°¼º ¹× ¼øµµ¸¦ ºÐ¼®ÇÏ¿© ƯÁ¤ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ¼ÒÀçÀÇ ÀûÇÕ¼º ¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. |
°íÇ°Áú ¿ëÁ¢±â¼ú |
|
¾Ë·ç¹Ì´½, ½ºÅ×Àη¹½º ½ºÆ¿, µ¿, ´ÏÄ̵îÀÇ ¿ëÁ¢±â¼ú.
°í¿Â/Áø°øÁ¶°Ç¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼/LCD Àåºñ ºÎÇ°µéÀº LEAK ¹æÁö ¿ëÁ¢±â¼úÀÌ °íµµ·Î ¿ä±¸µÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼/LCD °øÁ¤¿ë È÷ÅÍºí·°, Precursor º¸°ü ¿ë±âÀÎ Canister µîÀÇ ¿ëÁ¢¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù. |
Á¤¹Ð°¡°ø±â¼ú |
|
¾Ë·ç¹Ì´½°ú °°Àº ±Ý¼ÓÀÇ 1/1000mm ¼öÁØÀÇ Á¤¹Ð°¡°ø±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ µîÀÇ ÀüÀÚ»ê¾÷ Àü¹Ý¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ºÎÇ°, Àåºñ »ê¾÷¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò±â¼ú·Î¼ ´Ù¾çÇÑ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ Á¤¹Ð°¡°øÀ» ÅëÇÏ¿© °íÇ°ÁúÀÇ ±â´É¼º ºÎÇ° ¹× Àåºñ¸¦ ±¸¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. |
Ç¥¸é󸮱â¼ú |
|
È÷ÅÍºí·° Ç¥¸é AlF coating ±â¼ú·Î CPR8, VECTOR 12 È÷ÅÍ Ç¥¸é¿¡ NF3 Plasma gas¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© AlF coating ó¸®ÇÑ´Ù. |
±Ý¼ÓÈ÷ÅÍ Á¦Á¶±â¼ú |
|
¾Ë·ç¹Ì´½ µîÀÇ ¿Àüµµµµ°¡ ÁÁÀº ±Ý¼Ó(Àú¿Â¿ë ¾Ë·ç¹Ì´½ È÷ÅÍºí·°(~475¡É), °í¿Â¿ë ÀÎÄÚ³Ú È÷ÅÍºí·°(~800¡É))°ú Àü±â¹ß¿Ã¼¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±Ý¼ÓÈ÷ÅÍ(°øÁ¤¿ë È÷ÅÍºí·°, Chamber Cover heating¿ë È÷ÅÍ, ¹è±â¶óÀÎ heating¿ë Outlet È÷ÅÍ, Shower head heating µî)´Â ¹ÝµµÃ¼, LCD µîÀÇ ÀüÀÚ»ê¾÷¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÇ Àü±âÀû ¿°ø±Þ¿øÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ±Ý¼ÓÈ÷ÅÍ Á¦Á¶±â¼úÀº Á¤¹Ð°¡°ø±â¼ú°ú °íÇ°Áú ¿ëÁ¢±â¼ú, ¼³°è±â¼ú, Ç¥¸é󸮱â¼ú µîÀÇ ¿ä¼Ò ±â¼úÀÌ Á¶ÇյǾî¾ß °íÇ°ÁúÀÇ ¼º´ÉÀÌ È®º¸µÈ ±â´É¼º ºÎÇ°À» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. |