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¿þÀÌÆÛ Áغñ´Ü°è

ÃÖ°íÀÇ Ç°Áú·Î ¼ö¿äÀÚ ¿©·¯ºÐ²² º¸´äÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

´Ü°áÁ¤ ¼ºÀå(Crystal Growing)
°í ¼øµµ·Î Á¤Á¦µÈ ½Ç¸®ÄÜ ¿ëÀ¶ ¾×¿¡ ½Ãµå(Seed) °áÁ¤À» Á¢ÃËÇÏ¿© ´Ü°áÁ¤ ±Ô¼Ò ºÀÀ» ¼ºÀå½ÃÅ°´Â °úÁ¤ÀÌ´Ù. 99.9999% ÀÌ»óÀÇ ¼øµµ¸¦ °®°í ÀÖÀ¸¸ç, 1200¡É Á¤µµÀÇ ³ì¾Æ ÀÖ´Â ½Ç¸®ÄÜ Ç¥¸é¿¡ ³ìÁö ¾ÊÀº ½Ç¸®ÄÜ µ¢¾î¸®¸¦ »ì¦ Á¢Ã˽ÃÄÑ ³ì¾Æ ÀÖ´Â ½Ç¸®ÄÜ ÀÔÀÚµéÀÌ ³ìÁö ¾ÊÀº ½Ç¸®ÄÜ¿¡ ºÙµµ·Ï ÇÑ´Ù. ±×·¯¸é¼­ ÀÏÁ¤ ¼Óµµ·Î ȸÀüÀ» ½ÃÄÑ À§·Î ¿Ã¸®´Âµ¥ À̸¦ º¸¸é ¸¶Ä¡ ¹«¾ùÀΰ¡ Àڶ󳪴 °Í °°¾Æ ¼ºÀåÀ̶õ ¸»·Î Ç¥Çö ÇÑ´Ù. À̶§ ȸÀü ¼Óµµ¿Í ¿Ã¸®´Â ¼Óµµ ±×¸®°í ÁÖº¯ÀÇ ¿©·¯ °¡Áö Á¶°ÇÀ» Á¶ÀýÇÏ¸é ¿øÇÏ´Â ±½±âÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ºÀÀ» ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. Å©±â¿¡ µû¶ó 4ÀÎÄ¡, 5ÀÎÄ¡, 6ÀÎÄ¡, 8ÀÎÄ¡ ±×¸®°í ÃÖ±Ù¿¡´Â 12ÀÎÄ¡°¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Á¦Á¶ °øÁ¤»óÀÇ ÀÌÀ¯·Î ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ°¡ µÕ±Û°Ô ¸¸µé¾î Áö´Â °ÍÀÌ´Ù.
±Ô¼Ò ºÀ Àý´Ü(Shaping)
¼ºÀåµÈ ±Ô¼Ò ºÀÀ» ±ÕÀÏÇÑ µÎ²²ÀÇ ¾ãÀº ¿þÀÌÆÛ·Î À߶󳻴 °úÁ¤ÀÌ´Ù. ½Ç¸®ÄÜÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ´Â ¾à 1.2 eVÀÇ ³ÐÀº Energy Band gapÀ» °¡Áö°í Àֱ⠶§¹®¿¡ ºñ±³Àû °í¿Â¿¡¼­µµ ¼ÒÀÚ°¡ µ¿ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ´Â µµÆÇÆ®(Dopant)ÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó N-type°ú P-typeÀ¸·Î ±¸ºÐµÇ¸ç °áÁ¤ ¼ºÀå ¹æÇâ¿¡ µû¶ó¼­ <100>, <111>·Î ±¸ºÐµÈ´Ù.
¿¬¸¶(polishing)
¿þÀÌÆÛÀÇ ÇÑÂÊ ¸éÀ» ¿¬¸¶(Polishing)ÇÏ¿© °Å¿ï ¸éó·³ ¸¸µé¾îÁÖ´Â °úÁ¤ÀÌ´Ù. Polishing À̶õ »çÀüÀû Àǹ̷Π¡®¸¶Âû¿¡ ÀÇÇؼ­ Ç¥¸éÀº ºÎµå·´°í ±¤ÅÃÀ» ³ª°Ô ÇÏ´Â °Í¡¯À» ÀǹÌÇÏ¸ç ±¤¿ø¿¡ ÀÇÇÑ ±¼ÀýÀÌ »ê¶õµÇ´Â °áÁ¤Ç¥¸éÀ» °Å¿ï °°Àº ¹Ý»çÇ¥¸éÀ¸·Î ¸¸µé¾î ÁÖ´Â °ÍÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù. ÀÌÀü °øÁ¤¿¡¼­ chemical·Î etchingµÈ waferÀÇ Ç¥¸éÀº °æ¸é ¿¬¸¶ °øÁ¤¿¡¼­ ÆòźÇÏ°í damage°¡ ¾ø´Â °æ¸éÀ¸·Î °¡°øµÈ´Ù. silicon waferÀÇ °æ¸é ¿¬¸¶´Â silica °è¿­ÀÇ ¿¬¸¶Á¦¸¦ °ø±ÞÇϸ鼭, wafer¿Í ÀÎÁ¶ ÇÇÇõÀ¸·Î µÈ polishing pad»çÀÌ¿¡ ÀÏÁ¤ÇÑ ÇÏÁß°ú »ó´ë ¼Óµµ¸¦ Á¶ÀýÇÏ¿© ¿¬¸¶ÇÏ°Ô µÈ´Ù. silicon waferÀÇ °æ¸é ¿¬¸¶´Â ¾ËÄ®¸® ¿ë¾×¿¡ ÀÇÇØ waferÇ¥¸é¿¡ ¿¬ÁúÀÇ silica ¼öÈ­¸·ÀÌ Çü¼ºµÇ°í ±× ¼öÈ­¸·ÀÌ ¿¬¸¶Á¦ ÀÔÀÚ¿¡ ÀÇÇØ Á¦°ÅµÇ¾î °¡°øÀÌ ÁøÇàµÇ´Â °ÍÀÌ´Ù. Silicon waferÀÇ °æ¸é ¿¬¸¶ ¹æ¹ýÀº lapping¹æ½Ä°ú °°ÀÌ ¾ç¸éÀ» µ¿½Ã¿¡ °æ¸éÈ­ ÇÏ´Â ¾ç¸é ¿¬¸¶ ¹æ½Ä°ú ÇÑ À徿ÀÇ wafer¸¦ plate¿¡ Áø°ø ÈíÂøÇÏ¿© ¿¬¸¶ÇÏ´Â ³¹Àå ¹æ½Ä, ¶Ç´Â waxµîÀÇ Á¢ÂøÁ¦¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê°í packing pad¿Í template·Î °íÁ¤ÇÏ¿© ±×´ë·Î ¿¬¸¶ÇÏ´Â waxless¿¬¸¶ ¹æ½Ä µî ¿©·¯ °¡Áö ¹æ½ÄÀÌ ÀÀ¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸é ÁÖ·ù¸¦ ÀÌ·ç´Â ¹æ½ÄÀº wax¸¦ Á¢Âø½ÃÅ°¾î ÇÑÂÊ ¸éÀ» ¿¬¸¶ÇÏ´Â wax mounting ¹æ½ÄÀÌ silicon wafer»Ó ¾Æ´Ï¶ó glass, ceramicÀÇ ¿¬¸¶¿¡µµ Àû¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸³ª, ÇöÀç glass³ª ceramic µîÀÇ plate¿¡ ¿©·¯ ÀåÀÇ wafer¸¦ wax·Î Á¢Âø½ÃÄÑ ÇÑÂÊ ¸é¸¸À» ¿¬¸¶ÇÏ´Â wax mount batch½Ä Æí¸é °¡°ø ¹æ½ÄÀÌ ÁÖ·ù¸¦ ÀÌ·ç°í ÀÖ´Ù.