home_º¸À¯±â¼ú_H/B»ç¾÷º»ºÎ

H/B»ç¾÷º»ºÎ

ÃÖ°íÀÇ Ç°Áú·Î ¼ö¿äÀÚ ¿©·¯ºÐ²² º¸´äÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

ALD/CVD °øÁ¤ ¹× Àåºñ ¼³°è±â¼ú
°íÇ°Áú ³ª³ë ½ºÄÉÀÏÀÇ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¹°ÁúÀ» ¼º¸·ÇϱâÀ§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¹æ¹ýÀÎ ALD/CVD °øÁ¤Àº »ç¿ëµÇ´Â ¿ø·á precursorÀÇ ¿ªÇÒÀÌ ¸Å¿ì Å©±â¶§¹®¿¡ È­ÇÐÀûÀÎ ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ«´ÏÁòÀ» ¼º°øÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â precursor¿Í reactantÀÇ ¼³°è ¹× °øÁ¤ ·¹½ÃÇÇ, Àåºñ ÄÁ¼ÁÀÇ ¼³Á¤ÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù. ALD/CVD °øÁ¤ ±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇÑ ´Ù¾çÇÑ °íÇ°ÁúÀÇ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀç´Â ¹ÝµµÃ¼, LCD, ¼Ö¶ó¼¿, LED µîÀÇ ÀüÀÚ»ê¾÷°ú ³ª³ë ¼ÒÀç»ê¾÷ µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÆÄÆ®¼³°è±â¼ú
2D, 3D ¼³°è ÇÁ·Î±×·¥°ú ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ÇÁ·Î±×·¥À» ÀÌ¿ëÇÑ ±â´É¼º ºÎÇ° ¹× ÀåºñÀÇ ¼³°è ±â¼úÀº È÷ÅÍºí·°/Shower head µîÀÇ Àåºñ ºÎÇ°À» ºñ·ÔÇÏ¿©, Chemical È­ÇÕ¹°ÀÇ º¸°ü¿ë±âÀΠij´Ï½ºÅÍ ¹× °¡¿­ ±âÈ­ ÀåÄ¡ÀÎ heating ¸ðµâ°ú ¿ø·áÀÇ Áß¾Ó°ø±ÞÀåÄ¡ ±¸Çö¿¡µµ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.
±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ÄÚÆñâ¼ú
ALD/CVD °øÁ¤ ¹× Àåºñ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ »ç¿ë °¡´ÉÇÑ °íÇ°ÁúÀÇ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ÄÚÆÃÀ» ´ë¸éÀû¿¡ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, °í°´ÀÇ ¿äû¿¡ µû¶ó¼­ ´Ù¾çÇÑ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ ÄÚÆà ¹× ÄÚÆà ±â¼úÀÇ °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¹Ú¸·ºÐ¼®±â¼ú
ºÐ¼®±â±â SEM/EDX¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °íÇ°ÁúÀÇ ³ª³ë ½ºÄÉÀÏ ¹Ú¸·ÀÇ ¹°¼º ¹× ¼øµµ¸¦ ºÐ¼®ÇÏ¿© ƯÁ¤ ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ¼ÒÀçÀÇ ÀûÇÕ¼º ¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
°íÇ°Áú ¿ëÁ¢±â¼ú
¾Ë·ç¹Ì´½, ½ºÅ×Àη¹½º ½ºÆ¿, µ¿, ´ÏÄ̵îÀÇ ¿ëÁ¢±â¼ú.
°í¿Â/Áø°øÁ¶°Ç¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼/LCD Àåºñ ºÎÇ°µéÀº LEAK ¹æÁö ¿ëÁ¢±â¼úÀÌ °íµµ·Î ¿ä±¸µÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼/LCD °øÁ¤¿ë È÷ÅÍºí·°, Precursor º¸°ü ¿ë±âÀÎ Canister µîÀÇ ¿ëÁ¢¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù.
Á¤¹Ð°¡°ø±â¼ú
¾Ë·ç¹Ì´½°ú °°Àº ±Ý¼ÓÀÇ 1/1000mm ¼öÁØÀÇ Á¤¹Ð°¡°ø±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ µîÀÇ ÀüÀÚ»ê¾÷ Àü¹Ý¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ºÎÇ°, Àåºñ »ê¾÷¿¡¼­ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò±â¼ú·Î¼­ ´Ù¾çÇÑ ±Ý¼Ó ¹× ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ Á¤¹Ð°¡°øÀ» ÅëÇÏ¿© °íÇ°ÁúÀÇ ±â´É¼º ºÎÇ° ¹× Àåºñ¸¦ ±¸¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Ç¥¸é󸮱â¼ú
È÷ÅÍºí·° Ç¥¸é AlF coating ±â¼ú·Î CPR8, VECTOR 12 È÷ÅÍ Ç¥¸é¿¡ NF3 Plasma gas¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© AlF coating ó¸®ÇÑ´Ù.
±Ý¼ÓÈ÷ÅÍ Á¦Á¶±â¼ú
¾Ë·ç¹Ì´½ µîÀÇ ¿­Àüµµµµ°¡ ÁÁÀº ±Ý¼Ó(Àú¿Â¿ë ¾Ë·ç¹Ì´½ È÷ÅÍºí·°(~475¡É), °í¿Â¿ë ÀÎÄÚ³Ú È÷ÅÍºí·°(~800¡É))°ú Àü±â¹ß¿­Ã¼¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±Ý¼ÓÈ÷ÅÍ(°øÁ¤¿ë È÷ÅÍºí·°, Chamber Cover heating¿ë È÷ÅÍ, ¹è±â¶óÀÎ heating¿ë Outlet È÷ÅÍ, Shower head heating µî)´Â ¹ÝµµÃ¼, LCD µîÀÇ ÀüÀÚ»ê¾÷¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÇ Àü±âÀû ¿­°ø±Þ¿øÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ±Ý¼ÓÈ÷ÅÍ Á¦Á¶±â¼úÀº Á¤¹Ð°¡°ø±â¼ú°ú °íÇ°Áú ¿ëÁ¢±â¼ú, ¼³°è±â¼ú, Ç¥¸é󸮱â¼ú µîÀÇ ¿ä¼Ò ±â¼úÀÌ Á¶ÇյǾî¾ß °íÇ°ÁúÀÇ ¼º´ÉÀÌ È®º¸µÈ ±â´É¼º ºÎÇ°À» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.