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SOURCE APPLICATION |
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- ¹Ú¸· ÁõÂø¿ë Precursor ´Â MOCVD, ALD °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö ÈÇÐÁ¦Ç°
- ¹ÝµµÃ¼¿ë : TEOS, TEB, TEPO µîÀÇ ´ë·® »ý»êÇÏ´Â Á¦Ç°°ú ZrO2, TiN, Al2O3 µî |
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MemoryÀÇ ÇÙ½É ºÎºÐÀ» ÀÌ·ç´Â Á¦Ç° |
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- LED¿ë : TMG, TEG, TMI, TEI, TMA µî III-V Á· ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂøÀ» À§ÇÑ Á¦Ç° |
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